用途

本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產。

特點

●采用多功能高溫設計，可實現化學氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
●使用溫度高達2600，并可長時間穩(wěn)定可靠運行。
●采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換系統(tǒng)，可實現全溫度段的顯示和控制。
●采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控制系統(tǒng)，使得設備節(jié)能省電，諧波分量小，對外部設備無干擾。
●進出氣體的精確流量顯示和控制，保證了產品的穩(wěn)定性。
●采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強;
●采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好;
●特制的過濾系統(tǒng)，對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理;

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